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高纯气体宽泛用于电子器件出产工艺中。按工艺中高纯度气体的分歧用处，可将其分为；て⒎从称驮仄，用作；て挠星馄⒌⒀跗捌浠旌掀。在国内为获取氢气和氨气，为获得较高纯度的氢气，通常都选取电解纯水的步骤造取。这种步骤需用大量电能来电解水，通常达4.5~5.5kWh/Nm3H2，以至成本很高。

为削减电能亏损，降低成本，都在研造和利用各类混合气。其中，氮氢混合气将成为电子器件出产利用中的“福音”。以利用氮氢混合气居多。国表多选取液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气，也有选取液氮分化法获得氮氢混合气的。

用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的步骤，由于选取了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。国表，由于出产的专业化水平高，使用单元多选取这种步骤获得混合气。国内若从专业厂或大型结合企业的副产品获得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气逾越几倍。由液氨分化获得的氮氧混合气，由于液氮起源分歧，大无数质量较差，其中仍含有未分化的氨、水和氧等杂质。此表，液氮多起源于化肥厂，目前，供给上较严重，故成本也较高。

氮氢混合气不仅可在出产电子器件时取代氧气用作；て，还可宽泛用于冶金、化工、机械等行业。一旦宽泛推广利用，必将产生可观的经济效益和社会效益。